普达特科技(00650.HK)：公司一台12英寸LPCVD炉管设备成功通过客户验收
格隆汇3月24日丨 普达特科技(00650.HK)公布，公司一台12英寸LPCVD炉管设备成功通过客户验收，该设备应用于LP -Si N薄膜沉积工艺。此外，另一台12英寸ALD炉管设备在客户端处于验证过程中，该设备应用于ALD -Si N
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